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電子級硫酸管控有哪些難點：有 2 個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸 的腐蝕性很強，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。

電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要 用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機殘留物和碳沉積 物。

檢測儀器：電子級光刻膠的級別判定有線寬、金屬雜質(zhì)、顆粒數(shù)和大小，4個指標(biāo)。其中顆粒檢測用的是液體顆粒計數(shù)器。采用光散射法的原理來對光刻膠里的粒子大小和多少進行檢測。通常會檢測0.1um、0.2um、0.3um、0.5um這4個粒徑值。