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千級無塵無菌車間等級標準每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的*級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*級，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。

百級無塵車間的標準100級無塵無菌車間*般需要滿布，具體需要找凈化工程師計算相關(guān)風量; 但是不能盲目按照換氣次數(shù)進行設(shè)計風量

無塵車間日常保養(yǎng)方式潔凈無塵車間的清掃*般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進行，如有*要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)*須在凈化空調(diào)系統(tǒng)開機運行時間達到潔凈要求后方可開始進行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點、工序要求、潔凈度等級不同分別*用。